
晶圓框架 / 膠膜框架 / DISCO 鐵環 / 鐵圈(Wafer Frame / Wafer Ring)主要用途
晶圓框架、膠膜框架(Wafer Frame),又稱晶圓環、鐵環、鐵圈(Wafer Ring),是半導體製程中不可或缺的關鍵配件。
半導體用晶圓環或不鏽鋼鐵圈主要應用於晶圓切割、研磨等製程階段,用來盛放並固定晶圓。框架外圍會貼附薄膜(Dicing Tape),在切割或研磨過程中能有效防止晶圓滑動或脫落,確保操作穩定與良率。
此類晶圓框架並非一次性耗材,經過清潔與檢測後可重複使用,兼具經濟性與環保性。其中,日本 DISCO 品牌的晶圓鐵環(Disco Wafer Ring)以高精度與穩定性著稱,是目前業界最具代表性的產品之一。

正言晶圓框架(Wafer Frame / 膠膜框架)產品介紹
除了日本知名的 DISCO 鐵環(Wafer Ring)之外,正言不銹鋼亦專業生產高品質的晶圓框架(Wafer Frame)與膠膜框架(Dicing Frame),以穩定性與精密度廣受業界肯定。
正言生產之晶圓框架具備多樣化規格,適用於各式半導體製程設備:
- 尺寸:6 吋、8 吋、12 吋
- 厚度:1.2 mm、1.5 mm
- 材質:420 不鏽鋼
- 表面處理:可依需求製作亮面或霧面
此外,正言亦提供代客清潔 Frame 服務,確保框架在重複使用前的潔淨度與精度,同時可進行雷雕條碼、編號與日期標示等客製化加工,方便製程追蹤與管理。
其使用方式如下圖(從左到右):
- 原始未使用之狀態
- 貼上薄膜後以利盛放晶圓
- 盛放晶圓的實際使用照片
晶圓框架(Wafer Frame/Wafer Ring)的材質與重複使用優勢
正言晶圓框架(Wafer Frame/Wafer Ring)採用 420 不銹鋼 製成,具備優異的強度與耐腐蝕性,能承受高溫、真空與化學清洗環境。
相較於塑膠膠膜框架(Plastic Dicing Ring),金屬框架具有以下優勢:
- 更高剛性:確保晶圓在切割時穩定不變形。
- 可重複使用:經清潔後仍能維持精度,降低製造成本。
- 抗腐蝕性強:適用於濕製程與化學清洗環境。
- 兼容性高:適用於多種半導體切割機與自動化系統。
無論是 DISCO 鐵環 或 正言不銹鋼晶圓框架(Wafer Frame),其核心功能皆在於確保晶圓於製程中的穩定性與安全性。
正言以多年不鏽鋼加工經驗與嚴格品管,提供高精度、高可靠性的晶圓框架產品,並搭配清潔與雷雕服務,協助客戶提升製程效率與產品良率。

