ウェハーフレーム / ダイシングフレーム / ディスコリング / 鉄リング(Wafer Frame/Wafer Ring)紹介:最も詳細な解説
ウェハーフレーム / ダイシングフレーム / ディスコリング / 鉄リングの対応サイズ ウェハーキャリア(ウェハーカセット、ウェハー移送ボックス、またはウェハーコンテナとも呼ばれる)は、半導体ウェハーの保管、保護、輸送のために特別に設計された密閉されたクリーンな容器です。ウェハーが製造、保管、輸送の過程で衝突、摩擦、汚染を受けるのを防ぎ、半導体製造プロセスにおいて不可欠な重要な設備です。 ウェハーキャリアの機能 保護: 帯電防止素材と密閉構造により、ウェハー表面への塵、湿気、静電気放電(ESD)による損傷を遮断します。 内部のサポート設計によりウェハーの位置を固定し、搬送時の物理的な衝突を回避します。 輸送: ウェハー工場内では、自動マテリアルハンドリングシステム(AMHS)と前面開口型ユニファイドポッド(FOUP)の設計を通じて、装置間でのクリーンな移送を実現します。 300mmウェハー規格に対応し、単一の容器で25枚のウェハーを収容でき、高生産能力の自動化プロセスに適しています。 保管: 内部は乾燥窒素環境を維持し、酸化を防ぎ、ウェハー表面の清浄度を確保します。 特殊な構造により、ウェハーを長期間保存でき、温度や湿度の変化による品質劣化を防ぎます。 […]


