ウェーハカセット/カセットキャリア/ウェーハシッピングカセット

ウェーハシッピングボックス（ウェーハカセット）は、金属製とテフロン（PTA）製の2種類の主要素材で提供されており、半導体プロセスの多様な要件に合わせてサイズや仕様をカスタマイズできます。これらのウェーハカセットは主にクリーンルーム環境で使用され、生産工程におけるウェーハの安全な搬送を実現します。ウェーハはウェーハカセットに収納されたまま装置に投入され、直接接触を防ぐことで汚染リスクを大幅に低減します。

高温工程を伴う半導体プロセスでは、金属製ウェーハカセットが最適です。滑り止めクラスプやロックロッドによってウェーハを確実に固定し、搬送時や熱処理中の動きや損傷を防止します。

酸性またはアルカリ性環境での使用には、テフロン製ウェーハカセットが適しています。優れた耐薬品性によりウェーハを安定保持し、処理後の酸・アルカリ残渣の付着を抑えます。

YJ ステンレス は、金属製・テフロン製の両タイプのウェーハカセットを提供しており、精密なエンジニアリング、高耐久性、柔軟なカスタマイズ性を組み合わせることで、半導体製造全工程における安全・効率的・無汚染のウェーハハンドリングを実現します。