2026-07-17

ダイシングフレームとウェーハフレームの違い

ダイシングフレームとウェーハフレームの違い

ダイシングフレームとウェーハフレームは同じ?呼び方と仕様確認のポイント

半導体製造の現場では、「ダイシングフレーム」と「ウェーハフレーム」という名称が使われています。

この2つは、必ずしも別の製品を指すわけではありません。メーカーや工場、使用する装置によって呼び方が異なり、ダイシングテープを固定する同じようなフレームを指している場合があります。

そのため、名称だけで製品を選ぶのではなく、外形寸法、厚み、材質、穴位置、使用装置との適合性を確認することが重要です。

この記事では、ダイシングフレームとウェーハフレームの呼び方の違いと、選定時に確認したい仕様について解説します。

ダイシングフレームの基本的な役割や材質、選び方については、「ダイシングフレームとは?役割・材質・選び方を解説」もあわせてご覧ください。

ダイシングフレームとウェーハフレームは同じもの?

実際の現場では、同じ、または近い用途の製品を指す名称として使われることがあります。

一般に「ダイシングフレーム」は、ダイシング工程で使用するフレームであることを分かりやすく示す呼び方です。一方、「ウェーハフレーム」も、ダイシングテープを固定してウェーハを保持するフレームの製品名として使われています。

ただし、呼び方が同じでも、すべての製品が同じ仕様とは限りません。

同じ「ウェーハフレーム」という名称でも、外形寸法、内径、厚み、材質、穴位置、切り欠き形状などが異なる場合があります。反対に、名称が異なっていても、ほぼ同じ用途や仕様の製品であることもあります。

そのため、ダイシングフレームとウェーハフレームの違いは、名称だけでは判断できません。

呼び方が異なる理由

ダイシングフレームの名称は、メーカーや工場、使用する装置によって異なることがあります。

同じような製品でも、「ダイシングフレーム」「ウェーハフレーム」「ウェハフレーム」など、複数の呼び方や表記が使われています。ただし、名称が同じであっても、寸法や材質、装置との適合性まで同じとは限りません。

問い合わせや見積もりを依頼する際は、製品名だけでなく、図面、主要寸法、使用する装置、ダイシングテープの仕様を伝えると、認識のずれを防ぎやすくなります。

呼び方の違いを簡単に整理

比較項目ダイシングフレームウェーハフレーム
呼び方の傾向ダイシング工程での用途を示す名称同様の製品に使われる別名称の場合がある
主な用途ダイシングテープの固定、切断、工程間搬送製品によってダイシングフレームと同じ用途
明確な区別名称だけでは判断できない名称だけでは判断できない
選定方法寸法、材質、テープ仕様、使用装置を確認寸法、材質、テープ仕様、使用装置を確認

この表は、名称の一般的な使われ方を整理したものです。製品仕様を定義するものではないため、実際の選定では図面や装置条件を確認してください。

製品名より確認したい5つの仕様

ダイシングフレームやウェーハフレームを選ぶ際は、名称よりも実際の仕様を確認することが重要です。

1. ウェーハサイズ

まず、使用するウェーハの直径と厚みを確認します。

一般的には6インチ、8インチ、12インチなどがありますが、同じ8インチウェーハ用であっても、フレームの外形寸法や内径が同じとは限りません。

使用するダイシングテープや装置によって、必要なフレーム寸法が異なる場合があります。

2. フレーム寸法

主な確認項目は次のとおりです。

  • 外形寸法
  • 内径
  • 厚み
  • 穴位置
  • 切り欠き形状
  • 位置決め部

わずかな寸法差でも、テープマウンターや搬送カセットに適合しないことがあります。

現在使用しているフレームがある場合は、図面に加えて実物サンプルも用意すると、より正確に仕様を確認できます。

3. 材質

ダイシングフレームには、ステンレスなどの金属製と樹脂製があります。

金属製は、剛性、寸法安定性、繰り返し使用を重視する場合に検討されます。樹脂製は、軽量性や取り扱いやすさを重視する場合に選ばれることがあります。

材質を選ぶ際は、使用回数、洗浄方法、耐熱性、耐薬品性なども確認します。

4. ダイシングテープ

フレームとダイシングテープの組み合わせも重要です。

主な確認項目は次のとおりです。

  • テープの外径
  • テープの厚み
  • 貼り付け範囲
  • 粘着特性
  • UV硬化型または非UV型
  • テープマウンターの対応寸法

ダイシングテープの種類や製品特性については、LINTECが公開している半導体関連テープの製品情報も参考になります。

フレームの寸法が合っていても、十分な貼り付け範囲を確保できなければ、安定した固定が難しくなる場合があります。

5. 使用装置

フレームが次の設備に適合するか確認します。

  • テープマウンター
  • ダイシング装置
  • 搬送カセット
  • 洗浄装置
  • 保管ケース
  • 自動搬送設備

装置内に収まるだけでは不十分です。正しく位置決めできるか、クランプやセンサーと干渉しないかも確認します。

問い合わせ時に伝えたい情報

「ダイシングフレーム」と「ウェーハフレーム」のどちらの名称を使っても、用途を説明すれば意味は伝わります。

ただし、より正確に仕様を確認するため、問い合わせ時には次の情報を添えることをおすすめします。

  • 使用する工程
  • ウェーハサイズと厚み
  • フレームの図面または主要寸法
  • 現在使用しているフレームの写真
  • ダイシングテープの仕様
  • 使用装置のメーカーと型式
  • 必要数量

例えば、次のように伝えると分かりやすくなります。

8インチウェーハのダイシング工程で使用する金属製フレームを探しています。現在使用しているフレームの図面と装置型式を送付します。

「ウェーハフレームが欲しい」と名称だけを伝えるよりも、用途や仕様をあわせて伝えるほうが、適合する製品を確認しやすくなります。

標準品が装置に合わない場合

標準品が使用する装置や工程に合わない場合は、カスタム品や特注品を検討できます。

主な変更例は次のとおりです。

  • 外形寸法や内径の変更
  • 厚みの変更
  • 穴や切り欠きの追加
  • 位置決め形状の変更
  • レーザー刻印
  • 品番や管理番号の表示

必ずしも完全な新規設計が必要になるわけではありません。既存フレームをベースに、厚み、穴位置、切り欠き、刻印など、一部の仕様だけを変更するケースもあります。

現在使用しているフレームの図面や実物サンプルがあれば、仕様確認をスムーズに進められます。

YJステンレスのダイシングフレーム対応

YJステンレスでは、半導体ウェーハ工程で使用される金属製・樹脂製ダイシングフレームをはじめ、保管ケースや搬送カセットなどの関連製品を取り扱っています。

用途や設備条件に合わせて、次のような仕様についてご相談いただけます。

  • 金属製・樹脂製ダイシングフレーム
  • 外形寸法や厚みの変更
  • 穴・切り欠き加工
  • レーザー刻印
  • フレームの洗浄・再生
  • 保管ケースや搬送カセット
  • 使用装置に合わせたカスタム設計

製品の呼び方が分からない場合でも、使用工程、ウェーハサイズ、フレーム寸法、装置情報をご提示いただければ、用途に合った仕様を確認できます。

ダイシングフレームの選定やカスタム製作については、YJステンレスまでお気軽にお問い合わせください


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