PFA製ウェーハカセット｜8インチ対応 TJF-A8

製品概要

本製品は、8インチウェーハに対応したPFA製カセットです。
化学処理工程向けに設計されており、半導体製造ラインにおける高耐薬品・高耐熱用途に適しています。

PFA素材を採用することで、優れた耐腐食性と耐熱性を実現。酸やアルカリを用いる工程においても、安定したウェーハ搬送と保持を可能にします。

製品特長

• PFA製カセット（8インチ対応）
• 強酸・フッ酸・アルカリ環境に対応
• 耐熱温度：約200～220℃
• 化学プロセスでの長期使用が可能
• クリーン環境に適した低パーティクル設計

酸洗浄やエッチング工程など、厳しい条件下でも安定した性能を維持します。

オプション仕様｜搬送性・管理性の向上

用途や工程条件に応じたカスタマイズが可能です。

• ハンドル追加（PFA製）
• 専用Y型ハンドル対応（TJF-A8-Y）
• レーザー刻印による識別管理
• RFID対応

トレーサビリティ管理や自動搬送ラインとの連携にも対応します。

用途・適用工程

本製品は、以下のような化学プロセスで使用されます。

• 酸洗浄工程
• フッ酸処理工程
• アルカリ処理工程
• 高温化学処理工程
• ウェーハ搬送・一時保管

腐食性の高い環境下でも、安定した品質維持に貢献します。

技術信頼性

当社はウェーハハンドリング製品の分野において豊富な供給実績を有し、厳格な品質管理体制のもと製造しています。

• 耐薬品材料の選定ノウハウ
• クリーンルーム対応設計
• カスタム仕様対応
• 安定供給体制

半導体およびマイクロエレクトロニクス分野のニーズに基づいた製品設計を行っています。

適用分野

• 半導体製造ライン
• マイクロエレクトロニクス産業
• 化学処理工程
• クリーンルーム搬送

お問い合わせ

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