12インチ半導体ウェーハカセット | 水平式ウェハーシッパー

製品概要

本製品は、12インチ対応の半導体ウェーハカセット（Wafer Stack Box／Pizza Box）です。
工程間搬送および長期保管用途に適したウェーハケースとして設計され、水平式ウェハーシッパーとしても使用可能です。

PP（ポリプロピレン）素材を採用し、ESD（静電気防止）設計を標準装備。中古製品ではありますが、大口径ウェーハの保管・輸送用途に対応する実用性と耐久性を備えています。

製品特長

• PP製ウェーハケース（高耐久・軽量）
• ESD静電気防止仕様
• 12インチウェーハ専用設計
• ウェーハを水平に保管可能
• 積み重ね収納対応（省スペース設計）
• 水平式ウェハーシッパーとして搬送用途にも対応

ウェーハを水平に保持することで、反りや応力集中を抑え、輸送・保管時の破損リスクを低減します。

内部保護オプション

高付加価値ウェーハの安全性を高めるため、以下の追加対応が可能です。

• ウェーハスペーサーによる分離保管
• タイベックシート設置対応
• 静電気防止EPEスポンジ対応

衝撃や摩擦を軽減し、パーティクル発生リスクを抑制します。

適用範囲

• 半導体製造前工程
• IC設計用途
• フォトマスクウェーハ保管
• クリーンルーム内搬送
• 工程間輸送・一時保管

大口径ウェーハラインにおける保管・輸送ソリューションとして活用いただけます。

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