ウェーハスタックケース｜6インチ対応 ウェーハカセット

製品概要

本製品は、6インチ対応のウェーハスタックケース（多枚収納カセット）です。
ウェーハの安全な保管および搬送を目的としたケースで、クリーンルーム環境での取り扱いに適しています。

PP（ポリプロピレン）素材を採用し、ESD（静電気防止）対策を標準装備。安定した品質を維持し、半導体工程での運用に対応します。

ウェーハスタックケースとは？

ウェーハスタックケースとは、複数枚のウェーハを一定間隔で積層し、安全に保管・搬送するための専用カセットです。
各ウェーハをスロット構造で分離保持することで、接触や摩擦によるダメージを抑え、効率的な管理を実現します。

製品特長

• PP素材による軽量・高耐久設計
• 静電気防止（ESD）仕様
• 水平保持構造
• 多枚収納対応（省スペース）
• 6インチ専用設計
• 搬送用途にも対応

ウェーハスタックケースとして、保管効率と取り扱い性を両立した構造です。

保護性能とオプション

内部構造と追加オプションにより、取り扱い時のリスク低減に対応します。

• ウェーハスペーサー追加対応
• タイベックシート設置可能
• 静電気防止EPEクッション対応

これにより、衝撃や摩擦による影響を抑え、高付加価値製品の品質維持に貢献します。

適用範囲

• 半導体前工程
• 研究開発用途
• フォトマスク関連
• クリーンルーム内取り扱い
• 工程間保管

少量多品種ラインにも適した構成です。

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