PFA製ウェーハカセット｜8インチ対応 ハーフタイプ TJF-A8-1

製品概要

本製品は、8インチウェーハに対応したハーフタイプのPFA製カセットです。
半導体の化学処理工程向けに設計されており、少量処理や部分投入ラインに適したコンパクトな構造を採用しています。

PFA素材により優れた耐薬品性と耐熱性を備え、酸やアルカリを使用する環境下でも安定した搬送・保管が可能。限られたスペースでの運用や工程の柔軟化に対応します。

ハーフタイプの特長

ハーフタイプ設計により、以下のメリットがあります。

• 薬液使用量の削減
• 部分ロット処理への最適化
• 装置スペースの効率活用
• 軽量化による作業負担軽減

研究開発用途や少量生産ラインにも適しています。

製品特長

• PFA（テフロン）製ウエハカセット
• 強酸・強フッ酸・強アルカリ対応
• 耐熱温度 200～220℃
• 高耐腐食・長寿命設計
• 8インチ専用ハーフタイプ仕様

酸洗浄・エッチング・化学処理工程において、材料劣化を抑え長期使用が可能です。

カスタマイズ対応

工程管理や自動化ラインに対応するオプションも充実しています。

• テフロンハンドル追加可能
• 専用Y型ハンドル（TJF-A6-Y）装着対応
• レーザー刻印による識別管理
• RFID（無線周波数識別）対応

トレーサビリティ強化や工程管理の効率化を支援します。

主な用途

• 酸洗浄工程
• フッ酸処理工程
• 強アルカリ処理工程
• 高温化学処理工程
• ウェーハ搬送・一時保管

8インチラインの化学プロセス用途に最適なPFAウエハカセットです。

技術信頼性

当社は半導体向け搬送資材・耐薬品ウェーハカセットの供給実績を有し、厳格な品質管理体制のもと製造しています。

• 耐薬品素材選定ノウハウ
• クリーンルーム対応設計
• カスタム仕様対応
• 安定供給体制

現場ニーズに基づいた実用設計で、信頼性の高い製品を提供しています。

適用範囲

• 半導体製造工程
• マイクロエレクトロニクス産業
• 化学処理ライン
• クリーンルーム内搬送

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