PFA製ウェーハカセット｜6インチ対応 テフロンカセット

製品概要

本製品は、半導体ウェーハの搬送・保管用途に設計された6インチ対応カセットです。
酸・アルカリ環境での製造プロセスに適しており、化学処理工程における安定したウェーハハンドリングを実現します。

高温環境や腐食性の高い薬品条件下でも使用可能で、過酷な工程においても信頼性の高い性能を発揮します。

製品特長

• 半導体ウェーハの安定搬送に対応
• 高温（約200～220℃）環境での使用が可能
• 強酸・フッ酸・アルカリへの優れた耐性
• クリーン環境に適した低パーティクル設計
• テフロン製ハンドルの追加オプション
• レーザー刻印・RFID対応
• 専用Y型ハンドル仕様（TJF-A6-Y）選択可能

用途・適用分野

主に酸・アルカリを使用する化学プロセスにおいて、ウェーハの搬送・処理用途で使用されます。
安定した保持性能により、工程中の品質維持と作業効率向上に貢献します。

• 半導体製造工程
• マイクロエレクトロニクス分野
• 化学処理・洗浄プロセス

技術信頼性・導入実績

当社のPFA製ウェーハカセットは、TSMC や ASE をはじめとする半導体メーカーで採用実績があります。
厳格な品質要求に対応する設計・製造体制により、安定したウェーハハンドリングと工程信頼性を提供しています。