PFA製ウェーハカセット｜12インチ対応カセット TJF-A12

製品概要

本製品は、12インチウェーハに対応したPFA製カセットです。
半導体の化学処理工程向けに設計されており、大口径ウェーハの安全な搬送および保管に適しています。

PFA素材を採用することで、優れた耐薬品性と耐熱性を確保。酸やアルカリを使用する環境下でも安定した性能を維持し、信頼性の高いウェーハハンドリングを実現します。

製品特長

• PFA（テフロン）製ウエハカセット
• 強酸・強フッ酸・強アルカリ対応
• 耐熱温度 200～220℃
• 高耐腐食・長寿命設計
• 12インチウェーハ専用仕様

エッチングや薬液処理工程など、厳しい化学環境でも変形や劣化を抑え、安定した搬送性能を発揮します。

カスタマイズ・拡張オプション

工程条件に合わせた柔軟なカスタマイズが可能です。

• テフロンハンドル追加対応
• 専用Y型ハンドル（TJF-A6-Y）装着可能
• レーザー刻印による製品識別
• RFID（無線周波数識別）対応

トレーサビリティ管理や自動搬送ラインへの統合にも対応可能です。

主な用途

12インチPFAウエハカセットは、以下の工程で使用されます。

• 酸洗浄工程
• フッ酸処理工程
• 強アルカリ処理工程
• 高温化学処理工程
• ウェーハ搬送・一時保管

大口径ウェーハを扱う最先端ラインにも適した耐薬品仕様です。

技術信頼性

当社は半導体用ウェーハ搬送資材の供給実績を有し、厳格な品質管理のもと製造しています。

• 耐薬品材料選定ノウハウ
• クリーンルーム対応設計
• カスタム仕様対応
• 安定供給体制

半導体およびマイクロエレクトロニクス産業の高度な要求に応える製品を提供しています。

適用範囲

• 半導体製造工程
• マイクロエレクトロニクス産業
• 化学プロセスライン
• クリーンルーム内搬送

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