ウェーハケースのサイズ選定｜4・6・8・12インチの違いと選び方

ウェーハケースを選ぶ際、「4インチ用」「8インチ用」「12インチ用」といったサイズ表記だけで判断することはできません。

同じウェーハサイズでも、単枚収納するケース、複数枚を収納するカセット、ダイシングフレーム付きウェーハ用ケースでは、必要な構造や寸法が異なります。

そのため、ウェーハケース選定では以下のポイントを確認することが重要です。

• ウェーハサイズ
• ウェーハの厚み
• 収納枚数
• ウェーハ単体かフレーム付きか
• 使用目的（保管・搬送・出荷）
• 装置との適合性

この記事では、4・6・8・12インチウェーハケースの違いと、サイズ選定時に確認したいポイントを解説します。

ウェーハ搬送容器の種類については、「ウェーハキャリーケースとは？種類と選び方を解説」もあわせてご覧ください。

ウェーハケースのサイズ一覧

ウェーハケースは、一般的にウェーハ径を基準に選定します。

ただし、インチサイズはあくまで目安であり、実際には収納状態やケース構造まで確認する必要があります。

同じインチサイズでも、ケースの種類によって収納方法や用途は大きく異なります。

サイズ選定前に確認したい4つのポイント

1. ウェーハ単体かフレーム付きか

最初に確認したいのは、収納対象です。

ウェーハ単体の場合

確認する項目：

• ウェーハ径
• 厚み
• 収納枚数
• 保持位置

ダイシングフレーム付きの場合

ウェーハ径だけではケースを選べません。

確認する項目：

• フレーム外径
• フレーム厚み
• 切り欠き形状
• 収納方向
• 必要収納枚数

同じ8インチウェーハ向けでも、使用するフレームが異なれば対応するケースも変わります。

2. 1枚収納か複数枚収納か

ウェーハケースは、収納枚数によって構造が変わります。

単枚収納

評価用ウェーハ、サンプル、少量品の管理では、単枚収納ケースやシッパーが使用されます。

メリット：

• 個別管理しやすい
• ウェーハ同士が接触しにくい
• 受け渡しが容易

複数枚収納

工程間搬送や保管では、ウェーハカセットやウェーハキャリアが使用されます。

確認項目：

• 収納枚数
• スロットピッチ
• ウェーハ間隔
• 取り出し方法

収納枚数だけではなく、搬送方法に合わせて選定することが重要です。

3. 保管・搬送・出荷のどれに使用するか

同じウェーハケースでも、用途によって必要な仕様は異なります。

工程内搬送

確認項目：

• 作業者による取り扱いか
• 装置への受け渡しがあるか
• カセット形状が設備に合うか

社外輸送

確認項目：

• 蓋の固定方法
• ケース内部での移動
• 外装梱包
• 輸送距離

輸送用途では、ケース単体だけでなく梱包条件も重要になります。

4. 装置との適合性

装置へセットするケースやカセットでは、収納できるだけでは不十分です。

確認する項目：

• 外形寸法
• 位置決め部
• 挿入方向
• スロットピッチ
• クランプ位置
• 自動搬送対応

特に既存設備で使用する場合は、現在使用しているケースの型式や図面を基準に確認すると、置き換え時のトラブルを防ぎやすくなります。

サイズ別ウェーハケースの選び方

4インチウェーハケース

4インチウェーハでは、単枚収納タイプ、ウェーハキャリア、ウェーハカセットなどが候補になります。

主な用途：

• 評価用ウェーハの管理
• 少量品の搬送
• 工程内保管

選定時は、ウェーハ厚み、収納枚数、保持方法を確認します。

6インチウェーハケース

6インチでは、用途によって複数のケースが選ばれます。

例：

• 個別搬送：シングルウェーハシッパー
• 水平収納：ケーキボックス型ケース
• 複数枚搬送：ウェーハカセット

同じ6インチ用でも、収納方法によって適したケースは異なります。

8インチウェーハケースを選ぶときの注意点

8インチ（200mm）ウェーハケースは、使用される場面が多く、種類も豊富です。

選定時は、まず用途を整理します。

単枚搬送の場合

シングルウェーハケースやシッパーが候補になります。

複数枚搬送の場合

ウェーハキャリアやウェーハカセットを使用します。

確認項目：

• 収納枚数
• スロットピッチ
• 外形寸法
• 装置適合性

ダイシングフレーム付きの場合

ウェーハフレームカセットや専用搬送ケースを検討します。

この場合はウェーハ径ではなく、フレーム寸法を基準に選定します。

12インチ・300mmウェーハケース

12インチウェーハは、300mmウェーハとも呼ばれます。

主な搬送容器：

• 単枚収納ケース
• 水平収納ケース
• ウェーハカセット
• FOUP

FOUPは、主に300mmウェーハの工程間搬送で使用される代表的な密閉型キャリアです。

ただし、すべての300mm用途でFOUPが必要とは限りません。

用途によって：

• 工程搬送
• サンプル管理
• 一時保管
• 社外輸送

など、適したケースを選択します。

よくあるウェーハケース選定ミス

1. インチサイズだけで選ぶ

「8インチ用」と指定しても、単枚用か複数枚用かによって製品は変わります。

2. 外形寸法だけを見る

外側のサイズが合っていても、内部保持位置が合わない場合があります。

3. 収納枚数だけで判断する

同じ25枚収納でも、スロットピッチや装置条件が異なる場合があります。

4. フレーム付きなのにウェーハ径だけを見る

フレーム付きウェーハでは、フレーム外径と厚みの確認が必要です。

問い合わせ時に準備したい情報

ウェーハケースの選定では、以下の情報を準備すると確認がスムーズです。

1. ウェーハサイズ
2. ウェーハ厚み
3. ウェーハ単体かフレーム付きか
4. 収納枚数
5. 使用目的（搬送・保管・出荷）
6. 使用装置のメーカー・型式
7. 現在使用しているケース情報
8. 必要数量

YJステンレスのウェーハ搬送・保管製品

YJステンレスでは、ウェーハサイズや用途に合わせた搬送・保管製品を取り扱っています。

主な製品：

• シングルウェーハケース
• シングルウェーハシッパー
• ウェーハキャリア
• ウェーハカセット
• ケーキボックス型ウェーハ搬送ケース
• ウェーハフレームカセット
• フレームシッパーケース
• PFA製ウェーハカセット
• FOUP

製品ごとに対応サイズ、収納枚数、材質、保持構造が異なります。

ウェーハサイズだけでなく、収納状態や使用工程を確認したうえで、適した搬送容器を選定することが重要です。

ウェーハケースのサイズ選定については、ウェーハ寸法、収納状態、用途、必要数量をご準備のうえ、YJステンレスまでお問い合わせください。

まとめ

ウェーハケースは、4インチ、6インチ、8インチ、12インチというサイズだけでは選べません。

選定時は以下を確認してください。

• ウェーハサイズ
• ウェーハ単体かフレーム付きか
• 収納枚数
• ケース構造
• 使用用途
• 装置適合性

特に8インチと300mmウェーハでは、単枚ケース、カセット、フレーム用ケース、FOUPなど選択肢が多いため、サイズより先に使用条件を整理することが重要です。

よくある質問

1. 同じ8インチウェーハなら、同じケースを使えますか？

必ずしも使用できるとは限りません。

同じ8インチウェーハでも、ウェーハの厚み、収納枚数、単枚収納か複数枚収納か、ダイシングフレームの有無によって、適合するケースは異なります。

ケースの内寸や保持構造まで確認してください。

2. フレーム付きウェーハのケースは、ウェーハ径だけで選べますか？

ウェーハ径だけでは選べません。

フレーム付きウェーハの場合は、フレームの最大外形寸法、厚み、切り欠き形状、収納方向を確認する必要があります。

同じ8インチウェーハ用フレームでも、形状が異なれば同じケースを共用できないことがあります。

3. 12インチウェーハには必ずFOUPが必要ですか？

すべての用途でFOUPが必要なわけではありません。

FOUPは主に300mmウェーハの工程間搬送や装置への受け渡しに使用されますが、単枚搬送、一時保管、サンプル管理、社外輸送では別のケースが適する場合があります。

使用工程と装置条件に合わせて選定してください。

4. 同じ収納枚数なら、別のウェーハカセットへ交換できますか？

収納枚数が同じでも、そのまま交換できるとは限りません。

スロットピッチ、外形寸法、挿入方向、位置決め部、装置との適合性が異なる場合があります。

現在使用しているカセットの型式や図面を基準に比較することをおすすめします。