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製品紹介
製品説明
6-3インチウェーハカセット/ケーキボックス|ウェーハコインケース・ウェーハキャリーケース対応
製品概要
本製品は、6インチウェーハに対応したウェーハカセット(ケーキボックス)です。
未処理ウェーハや薄型ウェーハを安全に保管・搬送するために設計されたウェーハコインケース/ウェーハキャリーケースとして、半導体製造現場で幅広く使用されています。
PP(ポリプロピレン)素材を採用し、軽量でありながら高い耐衝撃性と耐薬品性を実現。クリーンルーム環境に適した構造で、ウェーハの品質維持をサポートします。
製品特長
- PP材による高耐久・軽量設計
- ウェーハを水平に保管する安定構造
- ウェーハ間の仕切り構造で接触防止
- 未処理ウェーハ・薄型ウェーハ対応
- 多枚数収納可能
- オーダーメイド対応(サイズ調整可能)
ウェーハを水平に収納することで、応力集中やエッジ欠損を防止し、搬送時の衝突リスクを低減します。ウェーハ間には仕切り紙を使用し、チップ同士の接触を抑制。安全かつ効率的な保管が可能です。
用途と適用シーン
本製品は以下の用途に最適です。
- 半導体前工程・後工程
- ウェーハ研磨工程
- ダイシング(カット)工程
- 工程間搬送
- ウェーハ工場内輸送ケース
追加の製造プロセスを必要とせず、そのまま輸送用途として活用できます。
ケーキボックス/ウェーハコインケースの選定ポイント
市場では「ケーキボックス」「ウェーハコインケース」「ウェーハキャリーケース」といった名称で呼ばれていますが、重要なのはウェーハ保護性能と収納安定性です。
本製品は:
- 衝突防止設計
- 防塵対応構造
- クリーン環境適合素材
- 小径ウェーハ対応設計
により、研究開発ラインや少量多品種生産にも適しています。
カスタマイズ対応
本製品はすべてオーダーメイド対応です。収納枚数、公差、サイズ仕様など、工程条件に合わせた設計が可能です。
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適用範囲
- 半導体産業
- 研磨工程
- カット工程
- 後段製造プロセス
- クリーンルーム内保管・物流