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・3インチシリコンウエハーボート TJF-3-box
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・6インチテフロンウェーハカセット TJF-A6
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製品紹介
製品説明
12インチ半導体ブリスターボックス
製品概要
本製品は、300mm(12インチ)ウェーハ専用に設計された高性能ブリスターボックスです。
最先端ロジック・メモリ・パワー半導体分野で求められる高水準の品質基準に対応したウェハフレーム用 搬送クリーンケースとして、安全な保管・輸送を実現します。
PET材を使用し、優れた耐衝撃性・透明性・耐久性を確保。静電気防止(ESD)設計により、ウェーハおよびウェーハフレームをパーティクルや放電リスクから保護します。
またオプションでWater Frameをご購入いただくことで、ウェーハを固定し衝突や摩擦を減らすことができます。
製品特長
- 12インチ(300mm)ウェーハ対応設計
- PET素材による高強度・長寿命構造
- 静電気防止(ESD)仕様
- ウェーハ/ウェーハフレームの水平固定構造
- クリーンルーム対応
- オーダーメイドによるサイズ最適化
- 12インチ対応ウェハフレーム用 搬送クリーンケースとして活用可能
Single Shipping Box構造により、高単価ウェーハを安定保持し、輸送中の振動・衝突・エッジ欠損リスクを最小限に抑えます。
ウェーハ保護設計
Wafer Shipping Boxは、ウェーハまたはウェーハフレームを水平配置できる精密設計を採用。
300mmウェーハは重量と面積が大きいため、搬送時の微振動や応力集中が品質へ影響を与える可能性があります。本製品は構造強度を高めることで、マイクロクラックや欠損を抑制します。
さらにオプションのWafer Frameを組み合わせることで、ウェーハ固定力を強化し、摩擦や衝突リスクを低減。歩留まり向上と工程安定化に貢献します。
適用範囲
- 12インチ前工程・後工程
- CMP研磨工程
- ダイシング(カット)工程
- 高付加価値ウェーハ保管
- クリーンルーム内搬送
- 半導体サプライチェーン物流
なぜ12インチ対応ウェハフレーム用 搬送クリーンケースが重要か
300mmウェーハは現在の主流製造サイズであり、製品単価も非常に高額です。
そのため、適切な搬送クリーンケースの選定は、歩留まり維持・コスト最適化・品質保証の観点から極めて重要です。
本製品は:
- パーティクル低減設計
- 強化ESD対策
- 大口径ウェーハ対応構造
- 特殊保管・輸送要件への適合
を実現し、安定した製造体制を支えます。
カスタマイズ対応
すべてオーダーメイド対応。
サイズ、厚み、固定構造、ESDレベルなど、300mmラインの工程条件に合わせて設計可能です。
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