2026-08-05
ウェーハケースのサイズ選定|4・6・8・12インチの違いと選び方
ウェーハケースのサイズ選定|4・6・8・12インチの違いと選び方 ウェーハケースを選ぶ際、「4インチ用」「8インチ用」「12インチ用」といったサイズ表記だけで判断することはできません。 同じウェーハサイズでも、単枚収納するケース、複数枚を収納するカセット、ダイシングフレーム付きウェーハ用ケースでは、必要な構造や寸法が異なります。 そのため、ウェーハケース選定では以下のポイントを確認することが重要です。 ウェーハサイズ ウェーハの厚み 収納枚数 ウェーハ単体かフレーム付きか 使用目的(保管・搬送・出荷) 装置との適合性 この記事では、4・6・8・12インチウェーハケースの違いと、サイズ選定時に確認したいポイントを解説します。 ウェーハ搬送容器の種類については、「ウェーハキャリーケースとは?種類と選び方を解説」もあわせてご覧ください。 ウェーハケースのサイズ一覧 ウェーハケースは、一般的にウェーハ径を基準に選定します。 ただし、インチサイズはあくまで目安であり、実際には収納状態やケース構造まで確認する必要があります。 ウェーハサイズ 直径の目安 主なケース種類 確認ポイント 4インチ 約100mm 単枚収納ケース、ウェーハキャリア、ウェーハカセット 厚み、収納枚数、保持方法 6インチ 約150mm シッパー、水平収納ケース、ウェーハカセット 収納方法、内寸、搬送用途 8インチ 約200mm 単枚ケース、ウェーハキャリア、フレーム用ケース 収納状態、外形寸法、装置条件 12インチ 約300mm 単枚ケース、搬送ケース、FOUP 保持構造、搬送重量、装置インターフェース 同じインチサイズでも、ケースの種類によって収納方法や用途は大きく異なります。 サイズ選定前に確認したい4つのポイント 1. ウェーハ単体かフレーム付きか 最初に確認したいのは、収納対象です。 ウェーハ単体の場合 確認する項目: ウェーハ径 厚み 収納枚数 保持位置 ダイシングフレーム付きの場合 ウェーハ径だけではケースを選べません。 確認する項目: フレーム外径 フレーム厚み 切り欠き形状 収納方向 必要収納枚数 同じ8インチウェーハ向けでも、使用するフレームが異なれば対応するケースも変わります。 2. 1枚収納か複数枚収納か ウェーハケースは、収納枚数によって構造が変わります。 単枚収納 評価用ウェーハ、サンプル、少量品の管理では、単枚収納ケースやシッパーが使用されます。…