2026-07-30
ウェーハキャリーケースとウェーハカセットの違い
ウェーハキャリーケースとウェーハカセットの違いとは?用途別の選び方を解説 ウェーハキャリーケースは、ウェーハの保管や搬送に使うケース類を広く表す名称です。一方、ウェーハカセットは、一般に複数枚のウェーハをスロットごとに保持し、工程間搬送や装置への受け渡しに使用されます。 ただし、「ケース」「キャリア」「カセット」「シッパー」といった呼び方は、メーカーによって異なります。製品名だけで選ばず、収納するもの、保持構造、使用装置を確認することが大切です。 この記事では、ウェーハキャリーケースとウェーハカセットの違いと、用途に応じた選び方を解説します。 ウェーハ搬送容器の種類については、「ウェーハキャリーケースとは?種類と選び方を解説」もあわせてご覧ください。 ウェーハキャリーケースとは ウェーハキャリーケースは、ウェーハを保管・搬送するケース類の総称として使われる言葉です。 「ウェーハケース」「ウェハケース」「ウェーハ搬送ケース」「ウェーハキャリア」など、似た名称で呼ばれることもあります。 主なタイプは次のとおりです。 ウェーハを1枚ずつ収納するケース 複数枚を水平に収納するケース スペーサーを使って重ねるケース ダイシングフレームごと収納するケース 蓋付きの輸送用シッパー サンプルの受け渡し、一時保管、工程間搬送、社外への出荷など、製品によって想定される用途は異なります。 ウェーハカセットとは ウェーハカセットは、一般に複数枚のウェーハをスロットごとに分けて保持する容器です。 ウェーハ同士を一定の間隔に保ちながら、まとめて搬送できます。工程間搬送のほか、製造装置への受け渡しに使用される場合もあります。 選定時には、次の仕様を確認します。 対応ウェーハ径 収納枚数 スロットピッチ ウェーハの挿入方向 カセットの外形寸法 位置決め部の形状 使用装置との適合性 同じ8インチ用、25枚収納と表示されていても、外形寸法やスロット構造が異なれば、そのまま置き換えられるとは限りません。 ウェーハキャリーケースとウェーハカセットの違い 比較項目 ウェーハキャリーケース ウェーハカセット 主な用途 保管、搬送、出荷、サンプルの受け渡し 複数枚の保持、工程間搬送、装置への受け渡し 収納方法 単枚、水平収納、積層、フレーム収納など スロット収納が中心 収納枚数 1枚から複数枚 複数枚が中心 主な収納対象 ウェーハ単体、フレーム付きウェーハなど 主にウェーハ単体 選定で重視する点 収納対象、保持方法、用途、内寸 ウェーハ径、ピッチ、枚数、装置条件 この比較は一般的な傾向です。 メーカーによっては、スロット式製品を「ウェーハキャリア」と呼ぶ場合や、水平収納タイプを「ウェーハカセット」と呼ぶ場合もあります。最終的には、図面や仕様表で構造を確認してください 30秒で分かる選び分け 用途ごとの目安は、次のとおりです。 ウェーハを1枚ずつ保管・出荷したい シングルウェーハケースやシングルウェーハシッパー 複数枚を工程内でまとめて搬送したい ウェーハカセット ダイシングフレーム付きウェーハを収納したい ウェーハフレームカセットや専用の搬送ケース 装置へ直接セットしたい 装置型式、外形寸法、スロットピッチ、位置決め構造を優先して確認 名称よりも、実際の収納状態と使用方法から選ぶほうが確実です。 用途別の選び方…