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グリップリングとダイシングフレームの違い｜用途・構造・選び方を比較 グリップリングとダイシングフレームは、どちらも半導体後工程でウェーハやダイシングテープを扱うために使われます。 ただし、主な役割は異なります。 ダイシングフレームは、ウェーハとダイシングテープを支持し、主にダイシング工程で使用します。 グリップリングは、ダイシング後に拡張したテープを固定し、チップ間隔を保持するために使用します。 見た目や対応ウェーハサイズが近くても、そのまま置き換えたり、同じ装置や搬送ケースを共用できるとは限りません。 この記事では、両者の違いを「使用工程」「構造」「共用可否」「既存品の置き換え」という視点から整理します。 グリップリングとダイシングフレームの違いを先に比較 比較項目 グリップリング ダイシングフレーム 主な役割 拡張後のテープを固定し、チップ間隔を保持する ウェーハとダイシングテープを支持する 主な使用工程 テープエキスパンド後からピックアップ工程 ウェーハマウントからダイシング工程 代表的な構造 インナーリング＋アウターリング 一体型の金属または樹脂フレーム テープの保持方法 リング間に挟み込んで固定する フレーム表面へテープを貼り付ける 共用判断で見る点 外形、厚み、嵌合後の高さ、装置条件 外形、板厚、穴・ノッチ、装置条件 置き換え ダイシングフレームとは役割が異なり、単純な置き換えはできない グリップリングとは役割が異なり、単純な置き換えはできない 最も大きな違いは、使用する工程とテープの保持方法です。 グリップリングはエキスパンド後のテープを保持する グリップリングは、ダイシング後に拡張したテープを保持し、広げたチップ間隔を維持するために使用します。 代表的なタイプは、インナーリングとアウターリングを組み合わせる構造です。 ダイシングテープをエキスパンダーで広げたあと、両リングでテープを固定します。 グリップリングの詳しい構造やサイズ選定については、別の記事「半導体用グリップリングとは？構造・用途・選び方」で詳しく解説します。 ダイシングフレームはダイシング工程でウェーハを支持する ダイシングフレームは、ダイシングテープを保持し、その上に貼り付けたウェーハをダイシング工程で扱うためのフレームです。 一般的には、テープをフレームへ貼り付け、その中央部にウェーハをマウントします。 その状態でダイシング装置へセットし、ウェーハを個々のチップへ分割します。 製品によって、外形寸法、板厚、穴やノッチの位置、材質などが異なります。 また、「ウェーハフレーム」「ウェーハリング」「リングフレーム」など、メーカーや現場によって異なる名称が使われる場合があります。 そのため、名称だけで判断せず、製品構造と使用工程を確認することが重要です。 工程で見ると違いがわかりやすい グリップリングとダイシングフレームは、同じ半導体後工程で使われることがありますが、使用するタイミングが異なります。 一般的な流れは次のとおりです。 ダイシングテープをダイシングフレームへ固定する ウェーハをテープへマウントする ウェーハをダイシングする ダイシング後のテープをエキスパンドする グリップリングで拡張状態を保持する 検査・搬送・ピックアップ工程へ移す 設備構成によって工程順序は異なりますが、基本的には、 ダイシング工程での支持＝ダイシングフレーム エキスパンド後の保持＝グリップリング と考えると違いを理解しやすくなります。 グリップリングとダイシングフレームは置き換えられる？ 基本的には、同じ機能を持つ部材として単純に置き換えるものではありません。 ダイシングフレームはダイシング工程でウェーハとテープを支持し、グリップリングはエキスパンド後のテープを保持するために使用します。 ただし、既存ラインの変更や装置更新時には、フレーム、グリップリング、搬送ケースをまとめて見直す場合があります。 搬送ケースは同じものを使える？…

半導体用グリップリングとは？構造・用途・選び方を解説 半導体用グリップリングは、ダイシング後のテープを拡張し、チップ間隔を広げた状態で保持するためのリングです。 代表的な製品は、インナーリングとアウターリングを組み合わせる二重構造です。エキスパンダーで広げたテープを両リングの間に挟み込み、後工程まで拡張状態を維持します。 メーカーや工程によっては、「ウェーハ拡張リング」「エキスパンドリング」「ダブルリング」などと呼ばれることもあります。ただし、名称が似ていても、寸法や嵌合構造が共通とは限りません。 YJステンレスでは、6・8・12インチの半導体ウェーハ拡張リングと、4・5インチ共用、6・7インチ共用、12インチ対応のグリップリング搬送ケースを取り扱っています。 この記事では、グリップリングの役割、基本構造、ダイシングフレームとの違い、選定時の確認ポイントを解説します。 グリップリングを簡単に説明すると グリップリングは、ダイシング後に広げたテープを二重リングで固定し、チップ間隔を保つための部材です。 選定時は、ウェーハサイズだけでなく、リングの外径・内径・厚み、使用するダイシングテープ、エキスパンダーや後工程装置との適合性を確認します。 グリップリングとは グリップリングは、ダイシング後のウェーハテープを拡張し、チップ間隔を確保した状態で固定する部材です。 テープを拡張すると、隣接するチップの間隔が広がり、ピックアップや検査などの後工程を行いやすくなります。 拡張したテープは、インナーリングとアウターリングの間に挟んで固定します。これにより、テープの張力が戻り、チップ間隔が変化するのを抑えます。 製品によって外径、内径、厚み、材質、嵌合方法が異なるため、名称や対応ウェーハサイズだけで互換性を判断することはできません。 グリップリングの主な役割 1. チップ間隔を広げる ダイシング直後のチップは、テープ上で互いに近い状態にあります。 エキスパンダーでテープを外周方向へ広げることにより、後工程に必要なチップ間隔を確保します。 適切な拡張量は、チップサイズ、テープ特性、装置条件によって異なります。 2. テープの拡張状態を保持する テープを拡張した状態でインナーリングとアウターリングを嵌合させ、張力を維持します。 安定して保持するには、リングの寸法だけでなく、嵌合部の形状や使用するテープとの組み合わせも重要です。 3. 後工程で取り扱いやすくする リング外周を保持して搬送や装置へのセットができるため、チップやテープ面へ直接触れる機会を減らしやすくなります。 また、一定のリング形状で管理することで、ピックアップ装置や検査装置への受け渡しもしやすくなります。 グリップリングの基本構造 代表的なグリップリングは、インナーリングとアウターリングで構成されます。 確認箇所 役割・確認内容 インナーリング テープ内側を支え、アウターリングと嵌合する アウターリング 外側からテープとインナーリングを固定する 外径 装置や搬送ケースに収まるか確認する 内径 チップやウェーハの有効範囲を確保できるか確認する 厚み・全高 装置の保持部やケースの収納部に適合するか確認する 嵌合部 テープを安定して固定できる形状か確認する 切り欠き・穴 位置決めや装置側の機構に合うか確認する 外径が近いリングでも、内径、厚み、嵌合部が異なれば、同じ装置や搬送ケースを使用できない場合があります。 グリップリングを使用する工程 一般的な使用の流れは次のとおりです。 ウェーハをダイシングテープへ固定する ウェーハをダイシングする エキスパンダーでテープを拡張する チップ間隔を広げる グリップリングで拡張状態を固定する 検査やピックアップなどの後工程へ移す 実際の工程や設備構成は、生産ラインによって異なります。 そのため、グリップリングを選ぶ際は、リング単体だけでなく、使用するエキスパンダーや後工程装置も含めて確認します。 グリップリングとダイシングフレームの違い グリップリングとダイシングフレームは、どちらもウェーハやテープの取り扱いに使われますが、主な役割が異なります。 比較項目…

ウェーハケースのサイズ選定｜4・6・8・12インチの違いと選び方 ウェーハケースを選ぶ際、「4インチ用」「8インチ用」「12インチ用」といったサイズ表記だけで判断することはできません。 同じウェーハサイズでも、単枚収納するケース、複数枚を収納するカセット、ダイシングフレーム付きウェーハ用ケースでは、必要な構造や寸法が異なります。 そのため、ウェーハケース選定では以下のポイントを確認することが重要です。 ウェーハサイズ ウェーハの厚み 収納枚数 ウェーハ単体かフレーム付きか 使用目的（保管・搬送・出荷） 装置との適合性 この記事では、4・6・8・12インチウェーハケースの違いと、サイズ選定時に確認したいポイントを解説します。 ウェーハ搬送容器の種類については、「ウェーハキャリーケースとは？種類と選び方を解説」もあわせてご覧ください。 ウェーハケースのサイズ一覧 ウェーハケースは、一般的にウェーハ径を基準に選定します。 ただし、インチサイズはあくまで目安であり、実際には収納状態やケース構造まで確認する必要があります。 ウェーハサイズ 直径の目安 主なケース種類 確認ポイント 4インチ 約100mm 単枚収納ケース、ウェーハキャリア、ウェーハカセット 厚み、収納枚数、保持方法 6インチ 約150mm シッパー、水平収納ケース、ウェーハカセット 収納方法、内寸、搬送用途 8インチ 約200mm 単枚ケース、ウェーハキャリア、フレーム用ケース 収納状態、外形寸法、装置条件 12インチ 約300mm 単枚ケース、搬送ケース、FOUP 保持構造、搬送重量、装置インターフェース 同じインチサイズでも、ケースの種類によって収納方法や用途は大きく異なります。 サイズ選定前に確認したい4つのポイント 1. ウェーハ単体かフレーム付きか 最初に確認したいのは、収納対象です。 ウェーハ単体の場合 確認する項目： ウェーハ径 厚み 収納枚数 保持位置 ダイシングフレーム付きの場合 ウェーハ径だけではケースを選べません。 確認する項目： フレーム外径 フレーム厚み 切り欠き形状 収納方向 必要収納枚数 同じ8インチウェーハ向けでも、使用するフレームが異なれば対応するケースも変わります。 2. 1枚収納か複数枚収納か ウェーハケースは、収納枚数によって構造が変わります。 単枚収納 評価用ウェーハ、サンプル、少量品の管理では、単枚収納ケースやシッパーが使用されます。…

ウェーハキャリーケースとウェーハカセットの違いとは？用途別の選び方を解説 ウェーハキャリーケースは、ウェーハの保管や搬送に使うケース類を広く表す名称です。一方、ウェーハカセットは、一般に複数枚のウェーハをスロットごとに保持し、工程間搬送や装置への受け渡しに使用されます。 ただし、「ケース」「キャリア」「カセット」「シッパー」といった呼び方は、メーカーによって異なります。製品名だけで選ばず、収納するもの、保持構造、使用装置を確認することが大切です。 この記事では、ウェーハキャリーケースとウェーハカセットの違いと、用途に応じた選び方を解説します。 ウェーハ搬送容器の種類については、「ウェーハキャリーケースとは？種類と選び方を解説」もあわせてご覧ください。 ウェーハキャリーケースとは ウェーハキャリーケースは、ウェーハを保管・搬送するケース類の総称として使われる言葉です。 「ウェーハケース」「ウェハケース」「ウェーハ搬送ケース」「ウェーハキャリア」など、似た名称で呼ばれることもあります。 主なタイプは次のとおりです。 ウェーハを1枚ずつ収納するケース 複数枚を水平に収納するケース スペーサーを使って重ねるケース ダイシングフレームごと収納するケース 蓋付きの輸送用シッパー サンプルの受け渡し、一時保管、工程間搬送、社外への出荷など、製品によって想定される用途は異なります。 ウェーハカセットとは ウェーハカセットは、一般に複数枚のウェーハをスロットごとに分けて保持する容器です。 ウェーハ同士を一定の間隔に保ちながら、まとめて搬送できます。工程間搬送のほか、製造装置への受け渡しに使用される場合もあります。 選定時には、次の仕様を確認します。 対応ウェーハ径 収納枚数 スロットピッチ ウェーハの挿入方向 カセットの外形寸法 位置決め部の形状 使用装置との適合性 同じ8インチ用、25枚収納と表示されていても、外形寸法やスロット構造が異なれば、そのまま置き換えられるとは限りません。 ウェーハキャリーケースとウェーハカセットの違い 比較項目 ウェーハキャリーケース ウェーハカセット 主な用途 保管、搬送、出荷、サンプルの受け渡し 複数枚の保持、工程間搬送、装置への受け渡し 収納方法 単枚、水平収納、積層、フレーム収納など スロット収納が中心 収納枚数 1枚から複数枚 複数枚が中心 主な収納対象 ウェーハ単体、フレーム付きウェーハなど 主にウェーハ単体 選定で重視する点 収納対象、保持方法、用途、内寸 ウェーハ径、ピッチ、枚数、装置条件 この比較は一般的な傾向です。 メーカーによっては、スロット式製品を「ウェーハキャリア」と呼ぶ場合や、水平収納タイプを「ウェーハカセット」と呼ぶ場合もあります。最終的には、図面や仕様表で構造を確認してください 30秒で分かる選び分け 用途ごとの目安は、次のとおりです。 ウェーハを1枚ずつ保管・出荷したい シングルウェーハケースやシングルウェーハシッパー 複数枚を工程内でまとめて搬送したい ウェーハカセット ダイシングフレーム付きウェーハを収納したい ウェーハフレームカセットや専用の搬送ケース 装置へ直接セットしたい 装置型式、外形寸法、スロットピッチ、位置決め構造を優先して確認 名称よりも、実際の収納状態と使用方法から選ぶほうが確実です。 用途別の選び方…

ウェーハキャリーケースとは？種類と選び方を解説 ウェーハキャリーケースは、半導体ウェーハを工程間で搬送したり、一時的に保管したりするための容器です。 ただし、「ウェーハキャリーケース」という名称だけで、形状や収納方法が決まるわけではありません。ウェーハを1枚ずつ収納するケース、複数枚を一定の間隔で保持するキャリア、ダイシングフレームごと収納するケースなど、用途によって構造は異なります。 選定時に最初に整理したいのは、何を、何枚、どのような状態で運ぶのかという点です。 この記事では、ウェーハキャリーケースの役割、主な種類、ウェーハカセットとの違い、選定時の確認ポイントについて解説します。 ウェーハキャリーケースとは ウェーハキャリーケースとは、ウェーハの搬送や保管に使用するケース類を指す言葉です。 主に次のような目的で使用されます。 搬送中の接触や位置ずれを抑える ウェーハ表面や外周への傷を防ぎやすくする ウェーハを所定の向きで保持する 工程間での受け渡しをしやすくする 保管中の異物付着リスクを抑える ただし、ケースへ収納すれば、すべての破損や汚染を防げるわけではありません。 ウェーハの状態、搬送距離、使用環境に合った保持構造を選ぶことが重要です。 最初に確認したい収納対象 ウェーハキャリーケースを選ぶ前に、何を収納するのかを明確にします。 1. ウェーハ単体 ダイシングテープやフレームが付いていない状態のウェーハです。 1枚ずつ収納するタイプのほか、スロットやウェーハボートを使って複数枚を保持するタイプがあります。 表面への接触をできるだけ避けながら、外周や裏面側で安定して保持できる構造が必要です。 2. フレーム付きウェーハ ウェーハがダイシングテープとダイシングフレームに固定された状態です。 この場合、ウェーハ径だけではケースを選べません。次のようなフレーム側の仕様を確認します。 最大外形寸法 厚み 穴や切り欠きの位置 収納方向 収納枚数 同じ8インチウェーハ用でも、フレーム形状が異なれば、同じケースを使用できない場合があります。 3. ダイシング後のフレーム ダイシング後は、分割されたチップがテープ上に保持されています。 搬送中にフレームが傾いたり、ケース内部で動いたりしないよう、保持位置や内部のクリアランスを確認する必要があります。 ウェーハキャリーケースの主な種類 1. シングルウェーハケース・シッパー ウェーハを1枚ずつ収納するタイプです。 サンプルウェーハ、評価品、少量品の受け渡しなどに向いており、ウェーハを個別に管理しやすいことが特徴です。 同じ1枚用でも、ウェーハ単体用とフレーム付き用では内部構造が異なります。 2. ウェーハカセット・ウェーハボート 複数枚のウェーハを一定の間隔で保持するタイプです。 工程間搬送や装置への受け渡しに使用されることがあり、選定時には次の条件を確認します。 対応ウェーハ径 収納枚数 スロットピッチ 挿入方向 使用装置との適合性 同じ枚数を収納できても、スロット間隔や装置条件が異なれば、置き換えられない場合があります。 3. ケーキボックス型搬送ケース ウェーハを水平に収納する円形または円筒形のケースです。 複数枚を収納する製品では、ウェーハ間にスペーサーや仕切り材を使用する場合があります。 外形や高さだけでなく、内部の保持方法、ウェーハ同士の接触、取り出し方まで確認してください。 4. フレーム用搬送ケース ダイシングフレームやウェーハリングを収納するケースです。…

ダイシングフレームの特注製作とは？図面・寸法・装置条件の確認ポイント 標準品のダイシングフレームでは、使用中の装置や搬送カセットに合わないことがあります。 同じウェーハサイズ向けでも、フレームの外形寸法、内径、厚み、穴位置、切り欠き形状は製品によって異なります。わずかな寸法差でも、装置への装着や位置決め、搬送に影響する場合があります。 このようなときに検討されるのが、ダイシングフレームの特注製作です。 特注製作では、単にサイズを変更するだけでなく、使用するダイシングテープ、装置、搬送カセット、後工程まで確認することが重要です。 この記事では、特注品が必要になるケースと、問い合わせ前に準備したい情報を解説します。 ダイシングフレームの基本については、「ダイシングフレームとは？役割・材質・選び方を解説」もあわせてご覧ください。 ダイシングフレームの特注製作が必要になるケース 標準品が使用条件に合わない場合でも、すべての仕様を一から設計するとは限りません。 現在使用しているフレームを参考にしながら、一部の寸法や形状を変更して対応を検討するケースもあります。 例えば、次のような場合です。 標準品の外形寸法が装置に合わない 搬送カセットに収納できない 穴や切り欠きの位置が異なる フレームの厚みを変更したい 軽量化のため樹脂製を検討したい 品番や管理番号を表示したい 既存品を参考に同等用途のフレームを製作したい 特注製作を検討するときは、最初に「現在のフレームで何に困っているのか」を整理することが重要です。 特注時に確認したい5つの仕様 1. 外形寸法と内径 外形寸法は、テープマウンター、ダイシング装置、搬送カセットとの適合性に関係します。 内径は、ウェーハサイズだけでなく、ダイシングテープの貼り付け範囲や装置側の保持条件も考慮して確認します。 同じ8インチウェーハ向けでも、装置やテープが異なれば、必要なフレーム寸法が同じとは限りません。 2. 厚み 厚みを変更すると、重量だけでなく、剛性、平坦性、装置内での高さ、クランプ状態にも影響します。 薄くする場合は、搬送時に変形しないか確認が必要です。厚くする場合は、装置やカセット内のクリアランスを確認します。 YJステンレスの金属製カスタムフレームでは、製品によって1.2Tから2.0Tの厚みに対応する例が公開されていますが、実際の対応範囲は形状や用途によって確認が必要です。 3. 穴・切り欠き・位置決め形状 フレームの穴や切り欠きは、装置への位置決めや挿入方向の確認に使われる場合があります。 確認したい項目は次のとおりです。 穴径と穴位置 切り欠きの幅と深さ 位置決め部の形状 挿入方向 クランプとの接触位置 形が似ていても、穴位置が数ミリ異なるだけで装着できない可能性があります。図面では、基準位置からの寸法を明確にします。 4. 材質と表面仕上げ ダイシングフレームには、ステンレスなどの金属製と樹脂製があります。YJステンレスは、ステンレス製のカスタムフレームに加えて、6インチ、8インチ、12インチの樹脂製ウェーハフレームも取り扱っています。 材質を変えると、次の条件も変わります。 重量 剛性 寸法安定性 洗浄方法 繰り返し使用への適性 静電気対策の条件 金属製から樹脂製へ置き換える場合は、同じ寸法で製作できるかだけでなく、装置や工程で使用できるかを確認します。 表面仕上げについては、光沢仕上げやヘアライン仕上げなどが公開されています。 5. 刻印と識別表示 フレームには、管理やトレーサビリティのため、文字や識別情報を表示できます。 例として、次のような内容があります。 品番 シリアル番号 ロット番号 会社名…

ダイシングフレームとダイシングテープの関係とは？役割と選定ポイント ダイシング工程では、ダイシングフレームとダイシングテープを組み合わせて使用します。 ダイシングテープは、加工前のウェーハと切断後のチップを保持するためのものです。一方、ダイシングフレームは、そのテープを固定し、装置へのセットや工程間の搬送を行いやすくする役割を持ちます。 どちらか一方の仕様だけが合っていても、フレーム寸法、テープサイズ、装置条件の組み合わせが適切でなければ、安定して使用できないことがあります。 この記事では、ダイシングフレームとダイシングテープの役割、組み合わせる際に確認したいポイント、適合しない場合に起こりやすい問題について解説します。 ダイシングフレームの基本については、「ダイシングフレームとは？役割・材質・選び方を解説」もあわせてご覧ください。 ダイシングフレームとダイシングテープの役割 ダイシングフレームは、ダイシングテープを所定の位置に固定するための枠です。 フレームにテープを取り付け、その上にウェーハをマウントした状態で、テープマウンターやダイシング装置へセットします。切断後もフレームごと取り扱えるため、チップの位置を保ったまま次工程へ移しやすくなります。 ダイシングテープは、ウェーハや切断後のチップを保持します。ダイシング後もチップがテープ上に残るため、検査やピックアップまでの間、配列を維持しやすくなります。 役割を簡単に分けると、次のようになります。 ダイシングフレーム：テープの固定、装置への装着、搬送 ダイシングテープ：ウェーハと切断後のチップの保持 フレームとテープは、別々の部品ではありますが、実際の工程では一つの組み合わせとして考える必要があります。 一般的な使用の流れ 工程や装置によって違いはありますが、一般的には次のような流れで使用されます。 ダイシングテープをフレームに取り付ける ウェーハをテープ上に貼り付ける フレームごとダイシング装置へ搬送する ウェーハをチップ単位に切断する 切断後のチップをテープ上に保持したまま次工程へ移す 実際の貼り付け順序やマウント方法は、使用するテープマウンターや製造条件によって異なります。 組み合わせを確認する5つのポイント 1. フレーム寸法とテープ外径 最初に確認したいのは、フレーム寸法とテープ外径の組み合わせです。 テープが小さすぎると、フレームへ固定するための面積を十分に確保できません。反対に大きすぎる場合は、外周からはみ出したり、装置へのセットに影響したりすることがあります。 同じ8インチウェーハ向けであっても、すべてのフレームとテープを共通で使用できるとは限りません。 2. テープの貼り付け範囲 ウェーハの周囲には、テープをフレームへ固定するための余白が必要です。 主に確認する寸法は次のとおりです。 ウェーハ径 フレームの内径 フレームの外形寸法 テープの外径 ウェーハ周囲の余白 貼り付け範囲が不足すると、テープを安定して固定しにくくなります。必要な余白は、フレーム形状や装置仕様によって変わります。 3. ダイシングテープの種類 ダイシングテープには、UV硬化型と非UV型があります。 UV硬化型は、ダイシング後に紫外線を照射して粘着力を低下させ、チップを取り外しやすくするタイプです。非UV型は、UV照射を使わない工程で使用されます。 選定時には、次の条件を確認します。 テープの厚み 粘着特性 UV照射の有無 ウェーハの厚み チップサイズ ピックアップ方法 テープの種類だけでなく、使用装置や後工程との相性も重要です。 4. テープマウンターとの適合性 フレームとテープの寸法が合っていても、テープマウンターに対応していなければ使用できません。 確認したい項目は次のとおりです。 対応するフレーム寸法 対応するテープサイズ フレームの位置決め方法 搬送方向 クランプ位置 テープの貼り付け方法…

ダイシングフレームとウェーハフレームは同じ？呼び方と仕様確認のポイント 半導体製造の現場では、「ダイシングフレーム」と「ウェーハフレーム」という名称が使われています。 この2つは、必ずしも別の製品を指すわけではありません。メーカーや工場、使用する装置によって呼び方が異なり、ダイシングテープを固定する同じようなフレームを指している場合があります。 そのため、名称だけで製品を選ぶのではなく、外形寸法、厚み、材質、穴位置、使用装置との適合性を確認することが重要です。 この記事では、ダイシングフレームとウェーハフレームの呼び方の違いと、選定時に確認したい仕様について解説します。 ダイシングフレームの基本的な役割や材質、選び方については、「ダイシングフレームとは？役割・材質・選び方を解説」もあわせてご覧ください。 ダイシングフレームとウェーハフレームは同じもの？ 実際の現場では、同じ、または近い用途の製品を指す名称として使われることがあります。 一般に「ダイシングフレーム」は、ダイシング工程で使用するフレームであることを分かりやすく示す呼び方です。一方、「ウェーハフレーム」も、ダイシングテープを固定してウェーハを保持するフレームの製品名として使われています。 ただし、呼び方が同じでも、すべての製品が同じ仕様とは限りません。 同じ「ウェーハフレーム」という名称でも、外形寸法、内径、厚み、材質、穴位置、切り欠き形状などが異なる場合があります。反対に、名称が異なっていても、ほぼ同じ用途や仕様の製品であることもあります。 そのため、ダイシングフレームとウェーハフレームの違いは、名称だけでは判断できません。 呼び方が異なる理由 ダイシングフレームの名称は、メーカーや工場、使用する装置によって異なることがあります。 同じような製品でも、「ダイシングフレーム」「ウェーハフレーム」「ウェハフレーム」など、複数の呼び方や表記が使われています。ただし、名称が同じであっても、寸法や材質、装置との適合性まで同じとは限りません。 問い合わせや見積もりを依頼する際は、製品名だけでなく、図面、主要寸法、使用する装置、ダイシングテープの仕様を伝えると、認識のずれを防ぎやすくなります。 呼び方の違いを簡単に整理 比較項目 ダイシングフレーム ウェーハフレーム 呼び方の傾向 ダイシング工程での用途を示す名称 同様の製品に使われる別名称の場合がある 主な用途 ダイシングテープの固定、切断、工程間搬送 製品によってダイシングフレームと同じ用途 明確な区別 名称だけでは判断できない 名称だけでは判断できない 選定方法 寸法、材質、テープ仕様、使用装置を確認 寸法、材質、テープ仕様、使用装置を確認 この表は、名称の一般的な使われ方を整理したものです。製品仕様を定義するものではないため、実際の選定では図面や装置条件を確認してください。 製品名より確認したい5つの仕様 ダイシングフレームやウェーハフレームを選ぶ際は、名称よりも実際の仕様を確認することが重要です。 1. ウェーハサイズ まず、使用するウェーハの直径と厚みを確認します。 一般的には6インチ、8インチ、12インチなどがありますが、同じ8インチウェーハ用であっても、フレームの外形寸法や内径が同じとは限りません。 使用するダイシングテープや装置によって、必要なフレーム寸法が異なる場合があります。 2. フレーム寸法 主な確認項目は次のとおりです。 外形寸法 内径 厚み 穴位置 切り欠き形状 位置決め部 わずかな寸法差でも、テープマウンターや搬送カセットに適合しないことがあります。 現在使用しているフレームがある場合は、図面に加えて実物サンプルも用意すると、より正確に仕様を確認できます。 3. 材質 ダイシングフレームには、ステンレスなどの金属製と樹脂製があります。 金属製は、剛性、寸法安定性、繰り返し使用を重視する場合に検討されます。樹脂製は、軽量性や取り扱いやすさを重視する場合に選ばれることがあります。 材質を選ぶ際は、使用回数、洗浄方法、耐熱性、耐薬品性なども確認します。 4. ダイシングテープ フレームとダイシングテープの組み合わせも重要です。 主な確認項目は次のとおりです。…

ダイシングフレームとは？半導体ウェーハ加工での役割と選び方 ダイシングフレームは、ダイシングテープを固定し、ウェーハや切断後のチップを安定した状態で保持するための部品です。 半導体のダイシング工程では、1枚のウェーハを多数のチップに分割します。加工中や加工後にウェーハの位置がずれないよう、ダイシングテープとフレームを組み合わせて使用します。 見た目はシンプルな枠ですが、フレームの寸法や材質が装置に合っていないと、テープの固定、装置への装着、搬送、位置決めに支障が出ることがあります。そのため、ウェーハサイズだけでなく、使用するテープや装置、洗浄・再利用の有無まで含めて選定することが重要です。 この記事では、ダイシングフレームの基本的な役割、材質の違い、選定時に確認したいポイントを分かりやすく解説します。 ダイシングフレームとは ダイシングフレームは、ウェーハを貼り付けたダイシングテープを固定するための枠です。 ウェーハを直接固定するのではなく、テープを介して保持します。ウェーハを切断した後も、個々のチップはテープ上に保持されるため、位置を保ったまま検査やピックアップなどの次工程へ移すことができます。 主な役割は次のとおりです。 ダイシングテープを安定して固定する ウェーハの位置ずれを抑える 切断後のチップを保持する 工程間の搬送をしやすくする 装置内での位置決めを支える ダイシングフレームは、フレーム単体で選ぶものではありません。ダイシングテープ、テープマウンター、ダイシング装置、搬送カセットとの組み合わせを確認したうえで選定します。 ダイシング工程でどのように使われるか 一般的な使用の流れは次のとおりです。 ウェーハをダイシングテープに貼り付ける テープをダイシングフレームに固定する フレームごとダイシング装置へセットする ウェーハをチップ単位に切断する 切断後のチップを保持したまま次工程へ搬送する ダイシングフレームは、切断時だけに使われるものではありません。切断前の搬送から、切断後の検査、ピックアップまで、複数の工程に関わります。 例えば、同じ8インチウェーハ用であっても、使用するテープマウンターや搬送カセットによって、必要なフレーム寸法が異なる場合があります。ウェーハ径だけで選ぶと、装置に装着できない、正しく位置決めできない、カセットに収納できないといった問題が起こる可能性があります。 ダイシングテープとの関係 ダイシングテープには、ウェーハと切断後のチップを保持する役割があります。テープの種類や特性については、LINTECが公開している半導体関連テープの製品情報も参考になります。 一方、ダイシングフレームは、テープを所定の形状に保ち、安定して固定する役割を担います。 テープとフレームの寸法が合っていないと、十分な貼り付け面積を確保できなかったり、安定した張りを保てなかったりすることがあります。 選定時には、次の条件を確認します。 ウェーハサイズ ダイシングテープの外径 テープの厚み フレームの内径と外形寸法 テープの固定方法 使用するテープマウンター ダイシング装置の対応寸法 フレームの寸法が合っていても、テープや装置との組み合わせが適切でなければ、装置への装着や搬送に支障が出ることがあります。 金属製と樹脂製の違い ダイシングフレームには、主に金属製と樹脂製があります。どちらが適しているかは、使用回数、洗浄方法、重量、剛性、使用環境によって異なります。 金属製ダイシングフレーム 金属製では、ステンレスなどが使用されます。 繰り返し使用する工程や、剛性と寸法安定性が求められる場合に選ばれることが多いタイプです。使用後に洗浄し、状態を確認しながら再利用することもできます。 主な特徴は次のとおりです。 変形しにくい 寸法を維持しやすい 繰り返し使用しやすい 洗浄や再生に対応しやすい 穴や切り欠きなどの追加工を行いやすい 再利用する場合は、接着剤の残り、傷、腐食、変形などを確認する必要があります。 樹脂製ダイシングフレーム 樹脂製は、軽量性や取り扱いやすさを重視する場合に使われます。材質や運用条件によっては、使い切り用途や色分けによる工程管理にも対応できます。 主な特徴は次のとおりです。 軽量で取り扱いやすい 色分けによる識別がしやすい 材質によってはコストを抑えやすい 使い切り運用にも対応しやすい 一方で、剛性、耐熱性、耐薬品性、寸法安定性は材質によって異なります。使用環境や工程条件に合った材料を選ぶことが重要です。 ダイシングフレームを選ぶ5つのポイント 1. ウェーハサイズ…

ウェハーフレームとは？ダイシングフレーム・ディスコリング徹底解説【半導体製造の基礎】 ウェハーフレームとは何か？ ウェハーフレーム（Wafer Frame）は、半導体製造工程においてウェハーを固定・保持するために使用される重要な部品です。特にダイシング工程（チップ切断）では欠かせない存在であり、加工精度や歩留まりに直接影響を与えます。 一般的には以下のような名称でも呼ばれます： ダイシングフレーム ディスコリング（Disco Ring） ウェハーリング（Wafer Ring） 鉄リング これらは基本的に同じ用途を指し、業界や地域によって呼び方が異なります。 ウェハーフレームの役割と重要性 半導体製造では、ウェハーは非常に薄く繊細です。そのため、加工時に安定して固定する必要があります。 ウェハーフレームの主な役割は： ウェハーの固定と安定化 ダイシング時の振動防止 チップ破損のリスク低減 加工精度の維持 特にダイシング工程では、わずかなズレや変形でも不良品の原因となるため、フレームの品質が非常に重要になります。 ウェハーフレームの種類と特徴 1. 金属ウェハーフレーム（ステンレス製） 最も一般的に使用されるタイプで、以下の特徴があります： 高い剛性と安定性 繰り返し使用が可能 精密加工に適している 特に420ステンレス鋼は、硬度と耐久性に優れており、半導体用途で広く採用されています。 2. 樹脂フレーム（プラスチック） 軽量で取り扱いやすい コストが比較的低い 一部用途に限定される 精度が求められる工程では、金属フレームの方が適しています。 ダイシングフレームとディスコリングの違い 実際のところ、「ダイシングフレーム」「ディスコリング」「ウェハーリング」は大きな違いはありません。 ダイシングフレーム：用途ベースの名称 ディスコリング：装置メーカー由来（DISCO社） ウェハーリング：一般的な呼び方 つまり、呼び方が違うだけで基本機能は同じです。 ウェハーフレームの材質選びが重要な理由 ウェハーフレームは見た目以上に、材質によって性能が大きく変わります。 重要なポイント： 平面度（フラットネス） 寸法精度 変形耐性 表面粗さ 例えば、剛性が不足すると、ダイシング時に微小なズレが発生し、歩留まり低下につながります。 YJステンレスのウェハーフレームの特長 YJステンレスでは、半導体製造に適した高精度ウェハーフレームを提供しています。 主な特長： 高精度加工による安定した品質 ポリッシュ／マットなどの表面仕上げ対応 レーザー刻印によるトレーサビリティ 溝加工・ノッチ加工のカスタマイズ対応 Blue Tape工程に対応したテンション試験済み 標準サイズ（6インチ、8インチ、12インチ）に加え、用途に応じたカスタマイズも可能です。 ウェハーフレームの選び方 選定時にチェックすべきポイント：…

詐欺防止に関する声明 最近、悪意ある者が公的機関、学校、団体などの名義を騙り、当社に製品を発注したと偽って金銭を詐取する行為が発生しています。当社は、国民の皆様に対し、警戒を高め、事実を慎重に確認し、ご自身の権利と利益が損なわれないよう注意を払うことを心よりお願い申し上げます。 当社はここに、以下の通り厳粛に声明を発表いたします。 一、 もし、公的機関、学校、団体などの名義を騙る人物から、当社に製品を発注し、国民の皆様に対し、代金の立て替えや、購入代金の手付金を**当社の会社名義の口座ではなく、不明な個人名義の口座に振り込むよう要求する連絡があった場合、これらはすべて詐欺であり、決して騙されないようにご注意ください。 二、 詐欺に遭うことを避けるため、国民の皆様には常に警戒を高めるようお願い申し上げます。万一、上記の手口で特定の業者からの購入、業務提携、その他詐欺の疑いがある行為を要求する不審な連絡を受け取った場合は、当社の公式サイト（https://www.jenyen.com/）の連絡先を通じて、当社に直接連絡を取り、確認していただくようお願い申し上げます。これにより、お客様の権利と利益が守られます。 三、 万が一、不注意にも詐欺に遭い、金銭的な損失を被った場合は、「警察署の詐欺防止相談ホットライン165」にお電話いただくか、直ちに居住地の警察機関に助けを求めてください。重ねて、騙されることのないよう注意し、権利と利益が損なわれないようにしてください。 四、 当社の名義を偽称または盗用して、無許可の業務、活動、または他者を混乱させる意図のある行為を行った者に対しては、当社は法に基づき関係者の法的責任を追及し、一切容赦いたしません。各方面の関係者に対し、自重し、自ら法を犯すことのないよう強く求めます。 正言權業不銹鋼有限公司 謹啓 中華民国113年5月15日 （2024年5月15日）

半導体製造に不可欠なツールとは？ウェハーキャリア・搬送ボックス・ウェハーフレームを徹底解説 半導体製造を支える重要なツール 半導体製造の現場では、ウェハーそのものだけでなく、それを安全に扱うための周辺ツールが非常に重要です。 中でも代表的なのが以下の3つです： ウェハーキャリア ウェハー搬送ボックス ウェハーフレーム（ウェハーカセット） これらはそれぞれ役割が異なりながらも、製造工程全体の安定性と品質を支えています。 ウェハーキャリアとは？ ウェハーキャリアは、ウェハーを保管・搬送するための装置です。主に前工程やクリーン環境で使用されます。 主な役割 ウェハーの安全な保管 搬送時の衝撃や汚染の防止 工程間のスムーズな移動 特徴 静電気対策（ESD対応） 高温・薬品環境への耐性 精密な位置決め構造 特に半導体製造では、微細な異物でも品質に影響するため、キャリアの設計は非常に重要です。 ウェハー搬送ボックス（ウェハーケース）とは？ ウェハー搬送ボックスは、ウェハーを外部環境から保護しながら輸送・保管するための容器です。 主な用途 工場間の輸送 長期保管 クリーンルーム外での保護 特徴 密閉構造による防塵・防汚 耐衝撃設計 軽量かつ高強度素材 代表的なものとしては、FOUP（Front Opening Unified Pod）などがあり、12インチウェハーの標準搬送に使用されています。 ウェハーフレーム（ダイシングフレーム）とは？ ウェハーフレームは、主に後工程で使用される重要な部品です。ウェハーを固定し、ダイシング（チップ切断）工程を支えます。 主な役割 ウェハーの固定 ダイシング時の安定性確保 チップの破損防止 特徴 高い平面度と剛性 精密な寸法精度 繰り返し使用が可能 特にステンレス製のウェハーフレームは、耐久性と安定性に優れており、半導体製造現場で広く採用されています。 3つのツールの違いと役割まとめ ツール 主な用途 使用工程 ウェハーキャリア 保管・搬送 前工程 搬送ボックス 外部輸送・保護 全工程 ウェハーフレーム 固定・ダイシング 後工程 それぞれが異なる役割を持ちながら、連携して半導体製造を支えています。 なぜこれらのツールが重要なのか？ 半導体製造では、ナノレベルの精度が求められます。そのため、ウェハーを扱うすべての工程で「安定性」と「清浄性」が不可欠です。…